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SCREEN 「レジスト除去方法およびレジスト除去装置の発明 「京都府発明等功労者表彰 最優秀賞」 を受賞


【2020年7月30日】 SCREENホールディングスの「レジスト除去方法およびレジスト除去装置の発明(特許第4672487号)」 がこのほど、京都府主催の「第64回京都府発明等功労者表彰 最優秀賞」 を受賞した。

「京都府発明等功労者表彰」は、発明考案・創意工夫の重要性を広くアピールし、科学技術の発展および発明考案・創意工夫に対する意欲の向上を図る ことを目的に、1957年から毎年開催されています。
今回、同社は29件の「発明考案功労者」の中から「最優秀賞」を受賞した。

受賞の発明は、硫酸過酸化水素水を用いたレジストの除去工程後に、純水の代わりに過酸化水素水を供給することで、基板の表面に残留する硫酸などを押し流して効率的に排除する方法。
これにより 、パーティクルの発生およびヒートショックによるパターン倒壊を抑制し、SCREENセミコンダクターソリューションズが手掛ける 枚葉式洗浄装置の性能向上に寄与したことが高く評価された。

 


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